新建设
高端仪器建设：高精杜纂高靠得住性
- 高通量数字光刻
- 纳米压印光刻与细密涂布
- 光场自动设计+算法
新工艺
光刻系统巩固性： 提升名义品质
- 光刻巩固性一致性数据库
- 匹配数据处置与光刻精度数据库
新技术
智能柔性造作：精度保险与测试尺度
- AI+智能计算：算法效能
- 光场成像加工精度
- 纳米精印造程精度的可控性
新器件
光子器件/资料：设计与工艺数据库
- AI赋能，提高微纳结构资料与器件数字设计
- 计算光刻工艺、光学检测水平
- 设置规范SOP、 全流程定量检测，设置设计、光刻、涂布、压印工艺的数据库